Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) dient zur Identifizierung von Elementen in Proben, die mit herkömmlichen Elementaranalysemethoden nicht analysiert werden können, wie z. B. feste Ablagerungen oder Partikel.
Die Probe wird mit Röntgenstrahlen bestrahlt, und das Detektionssystem registriert, welche Elemente charakteristische Strahlung aussenden.
Das Ergebnis liefert dem Kunden Informationen über die Materialzusammensetzung unbekannter Partikel – beispielsweise darüber, ob ein Metallstück aus einem Lager, einem Zahnrad oder einer Dichtung stammt.